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반도체 공정 기술 기반의 고온 동작 저전력 구동의 마이크로 히터 제작 기술 및 이러한 히터 기반의 MEMS형 NO2 가스 센서 기술
? 저전력 초소형 가스센서 기술은 ICT 정보기기에 접목시킴으로서 첨단 개인용 환경 감지기기, 밀폐 공간(지하철, 고속터미널 등) 내의 실내 환경 감지기기 시스템, 대기 환경 감지기기 시스템 구축 등과 같이 환경산업 및 정보통신 산업의 융합 발전에 필수 기술임

? 다양한 방식의 가스 센서중 반도체식 가스 센서는 측정 대기의 스펙트럼이나 이온 모빌리티(mobility)에 의한 전도성 측정을 통한 광학식 가스 센서나 전기 화학식 가스 센서에 비하여 그 구조가 간단하고 공정이 용이하여 대량생산이 가능하며, 크기가 작고 전력 소모가 작아 개인 휴대형 단말기나 IoT 센서 네트워크에 장착되어 다양한 서비스에 이용될 수 있는 이점이 있음

? 반도체식 가스 센서 소자를 제작하는 방법은 알루미나나 쿼츠 등의 기판에 감지 소재와 감지 전극 그리고 감지 특성 향상을 위해 동작 온도를 올려주기 위한 히터가 있는 벌크형 반도체식 가스센서가 대부분임

? 본 기술이전 대상은 ETRI에서 보유중인 반도체식 미세 가공 패턴 기반의 마이크로히터에 관한 원천 기술을 기반으로, 소형화 및 저전력 구동이 가능하도록 구조적 변형 및 제작 기술의 노하우를 추가함으로써, 사업화 및 응용 범위의 다양화를 추구할 수 있도록 하였음. 따라서 상용제품으로써 높은 기술적 경쟁력을 확보할 수 있을 것으로 보임

? 본 기술이전 대상은 마이크로히터 내장형 NO2 가스 센서 기술이며, 상용화에 필요한 반도체기반 MEMS 가스센서 설계 및 제작 기술과 함께 성능 평가 결과의 자료 및 노하우 등을 포함함

? 기존의 환경 계측 장치들은 가격이나 부피 등에서 볼 때 개인용 기기에 탑재되기에는 적합치 않으며, 초소형, 저가격, 신뢰성, 정확성 등을 만족시키는 새로운 대기 환경 감지 장치에 대한 수요가 예상됨

? 그러나 기술이전을 원하는 기업체의 경우 연구소의 원천 및 핵심기술 개발 노력과 무관하게 사업화에 적용할 수 있는 수준의 기술 개발을 원하고 있어, 이에 대한 대응이 필요한 실정임

? 따라서 본 기술이전의 대상은 IoT 서비스를 위한 초소형 마이크로히터 기반 가스 설계 기술 및 제작 기술과 감지 물질에 조성 방법을 포함해 성능 평가 결과 까지를 다루고 있음

? 본 기술이전을 원하는 대상 기업의 경우, ICT 기반의 IoT 센서 노드 사업을 추진하고 있으며, 기존 기술과 달리 차별화 기술 및 차세대 센서 기술로써 활용가치를 평가하고 있어 산업체의 응용범위를 크게 향상시키고, 실내 공기질 모니터링 관련업체의 국내,외적 경쟁력 확보 또한 크게 향상시킬 수 있을 것으로 기대함

- 반도체 공정 기술을 이용한 대량 생산성
- 벌크형 대비 1/10정도의 소모전력 특성

단계 : 5

? 본 기술이전 대상의 저소모전력형 마이크로히터 기반 NO2 가스 센서 기술은 응용성이 우수할 뿐만 아니라, 양산화에 필요한 구조 설계, 소재 압출성형 기술, 제품 제작기술, 크기 및 성능 조건의 최적화 기술 등이 확보됨에 따라, 기술이전을 원하는 기업체의 사업화 시점을 크게 앞당겨 매출 증대와 더불어 경쟁력 향상을 가져올 것으로 전망함

? 본 기술이전 대상의 저소모전력형 마이크로히터 기반 NO2 가스 센서 기술은 반도체 기반의 제작 기술을 이용하므로 균일성의 성능 확보를 가능하게 해, 제품의 질 향상이 기대될 수 있음. 아울러, 저소모전력형 마이크로히터 기반 NO2 가스 센서 기술이 적용되는 휴대단말기기의 경우 초저전력 고민감도 동작이 가능해져 상용 제품의 작동 신뢰성 확보를 통한 고객만족 실현이 가능해 질 것으로 기대됨

? 그 외, 저소모전력형 마이크로히터 기반 NO2 가스 센서 기술의 상품으로써 활용 가치는 광범위하며, 최근 들어 실내 공기질 모니터링 모듈, 자동차용 배기가스 점검, 대기 환경 점검등 초소형 저전력 가스센서 솔루션으로써 적용가능성이 매우 큰 것으로 분석됨

- 마이크로히터 내장형 센서 기술
1. 저소모전력형 마이크로 히터 설계 및 제작 기술
2. 반도체 공정 기반 가스센서 설계 및 제작 기술
3. 마이크로히터 기반 NO2 감지 센서 제작 기술
4. NO2 감시 센서 특성 평가 기술
- 마이크로히터 내장형 NO2 가스 센서 기술
1. CMOS/MEMS 기반 마이크로 히터 설계 및 제작 기술
2. 반도체 공정 기반 가스센서 설계 및 제작 기술
3. MEMS형 NO2 감지 물질 제작 기술
4. 마이크로히터 내장형 NO2 센서 특성 평가 기술

마이크로히터 내장형 센서 제작법 등 기술문서 2건

실시권 허용범위

비독점적 통상실시권

계약기간

계약체결일로부터 5 년간

기술료조건(부가세별도)

※ 착수기본료(단위:천원)

구분	중소기업	중견기업	대기업
착수기본료	50,000	100,000	100,000
매출정률사용료(%)	1.25	3.75	5

※중소기업 또는 중견기업 기술료조건을 적용받고자 하는 경우에는 중소기업확인증 또는 중견기업확인증 제출 필요

기술전수교육

1 개월 / 0 천원정(부가세 별도)

기타특기사항

기술관련

기술개발 발표당시	3D신소자연구실 이재우 (042-860-5828, jaewoo@etri.re.kr)
현재	스마트소재연구실 문승언 (042-860-5603, semoon@etri.re.kr)

계약관련

기술이전실 주명혁 (042-860-5838, mhju@etri.re.kr)