특허검색| 기술분류 | 전기ㆍ전자 > 반도체소자 및 시스템 > SoC |
| 출원명칭 | 낮은 시리즈 저항을 갖는 쇼트키 다이오드 |
| 출원번호 | 15/341448 |
| 출원일자 | 2016-11-02 |
| 등록명칭 | 낮은 시리즈 저항을 갖는 쇼트키 다이오드 |
| 등록번호 | 9941418 |
| 등록일자 | 2018-04-10 |
| 초록내용 | 본 발명은, 낮은 시리즈 저항을 갖는 쇼트키 다이오드의 제작을 위한 것이다. 전류통로에 식각률이 다른 중간층 반도체를 성장시켜, 선택적 식각으로 언더컷을 만들고, 한번의 금속증착으로, 애노드 메탈과 캐소드 메탈을 동시에 형성시킴으로써, 애노드금속과 캐소드 금속사이의 간격을 최대로 줄여 작은 시리즈저항을 얻는다. 또한, 중간층 반도체의 고농도 도핑 활용으로 캐소드 오믹층의 접촉저항을 줄여, 추가의 시리즈 저항 감소를 얻는다. |